Ultrathin Conformal Coatings For Electrostatic Dissipation in Semiconductor Process Tools

WO2021062349 Art A1 1. April 2021

Anmelder: APPLIED MATERIALS, INC. 🇺🇸

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO2021062349
Aktenzeichen: EP20869754
Anmeldetag: 28. September 2020
Veröffentlichung: 1. April 2021
Rechtsraum: WO
IPC: H01L21/687B25J19/00C23C16/06C23C16/455H01L21/677

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: APPLIED MATERIALS, INC.
Land: 🇺🇸 USA

🇺🇸 Applied Materials

US-amerikanisches Technologieunternehmen mit Sitz in Santa Clara, Kalifornien. Applied Materials entwickelt Fertigungsanlagen und Prozesstechnologien für die Halbleiter-, Display- und Solarindustrie, unter anderem für Beschichtung, Ätzen und Materialabscheidung.

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Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente Metallurgie & Oberflächentechnik Werkzeug-, Fertigungs- & Drucktechnik

Vertreten von