Turbomolecular Vacuum Pump

WO2021063805 Art A1 8. April 2021

Anmelder: PFEIFFER VACUUM 🇫🇷

Details

Veröffentlichungs-Nr.
WO2021063805
Aktenzeichen
EP20776177
Anmeldetag
24. September 2020
Veröffentlichung
8. April 2021
Rechtsraum
WO
IPC
F04D19/04F04D29/52F04D29/70F04D27/02
Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma
PFEIFFER VACUUM
Land
🇫🇷 Frankreich
🇩🇪 Pfeiffer Vacuum

Deutsches Unternehmen, das Vakuumpumpen und Vakuumtechnik für Industrie, Forschung und Halbleiterfertigung entwickelt und herstellt.

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