Verfahren zur Reduzierung von Strukturellen Beschädigungen an der Oberfläche von Einkristallinen Aluminiumnitrid-Substraten und Derart Herstellbare Einkristalline Aluminiumnitrid-Substrate

WO2021064000 Art A1 8. April 2021

Anmelder: FRAUNHOFER-GESELLSCHAFT ZUR FÖRDERUNG DER ANGEWAND 🇩🇪

Details

Veröffentlichungs-Nr.
WO2021064000
Aktenzeichen
EP20786495
Anmeldetag
30. September 2020
Veröffentlichung
8. April 2021
Rechtsraum
WO
IPC
C30B29/40C30B33/02
Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma
FRAUNHOFER-GESELLSCHAFT ZUR FÖRDERUNG DER ANGEWAND
Land
🇩🇪 Deutschland
🇩🇪 Fraunhofer-Gesellschaft

Deutsche gemeinnützige Forschungsorganisation mit Sitz in München. Betreibt anwendungsorientierte Forschung in Technik und Naturwissenschaften über zahlreiche Institute für Industrie und Gesellschaft.

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