Microscope device, data generation method, and program

WO2021064807 Art A1 8. April 2021

Anmelder: NIKON CORPORATION 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO2021064807
Aktenzeichen: EP19947750
Anmeldetag: 30. September 2019
Veröffentlichung: 8. April 2021
Rechtsraum: WO
IPC: G02B21/00G01N21/41G01N21/59G02B21/06G02B21/14

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: NIKON CORPORATION
Land: 🇯🇵 Japan

🇯🇵 Nikon

Japanisches Technologieunternehmen mit Sitz in Tokio. Nikon entwickelt optische Geräte und Präzisionstechnik, darunter Kameras, Objektive, Mikroskope sowie Lithografie- und Messsysteme für die Halbleiterfertigung.

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Fachgebiete

Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik Optik & Fototechnik

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