Processing system, control device, control method, and computer program

WO2021064895 Art A1 8. April 2021

Anmelder: NIKON CORPORATION 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO2021064895
Aktenzeichen: EP19947974
Anmeldetag: 2. Oktober 2019
Veröffentlichung: 8. April 2021
Rechtsraum: WO
IPC: B29C64/321B01J19/12B22F3/105B22F3/16B29C64/141B29C64/268

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: NIKON CORPORATION
Land: 🇯🇵 Japan

🇯🇵 Nikon

Japanisches Technologieunternehmen mit Sitz in Tokio. Nikon entwickelt optische Geräte und Präzisionstechnik, darunter Kameras, Objektive, Mikroskope sowie Lithografie- und Messsysteme für die Halbleiterfertigung.

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Fachgebiete

Kunststoff- & Polymertechnik Verfahrens- & Trenntechnik Werkzeug-, Fertigungs- & Drucktechnik

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