Polishing device, information processing system, information processing method, and program

WO2021065516 Art A1 8. April 2021

Anmelder: EBARA CORPORATION 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO2021065516
Aktenzeichen: EP20873285
Anmeldetag: 16. September 2020
Veröffentlichung: 8. April 2021
Rechtsraum: WO
IPC: B24B37/013B24B37/30B24B49/04B24B49/10H01L21/304G05B19/404G05B19/4155B23Q15/12

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: EBARA CORPORATION
Land: 🇯🇵 Japan

🇯🇵 Ebara

Japanischer Hersteller von Pumpen, Kompressoren und Umwelttechnik mit Sitz in Tokio, gegründet 1912.

1.514 Patente in unserer Datenbank

Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente Steuerungs- & Regelungstechnik Werkzeug-, Fertigungs- & Drucktechnik

Vertreten von

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