Maintenance apparatus, maintenance method, and maintenance program

WO2021065843 Art A1 8. April 2021

Anmelder: ADVANTEST CORPORATION 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO2021065843
Aktenzeichen: EP20871335
Anmeldetag: 28. September 2020
Veröffentlichung: 8. April 2021
Rechtsraum: WO
IPC: H01L21/66G01R31/26G01R31/28

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: ADVANTEST CORPORATION
Land: 🇯🇵 Japan

🇯🇵 Advantest

Japanisches Unternehmen mit Sitz in Tokio, Hersteller von Testsystemen für Halbleiter und elektronische Bauteile.

1.227 Patente in unserer Datenbank

Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik

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