Member for plasma processing apparatuses and plasma processing apparatus provided with same

WO2021065919 Art A1 8. April 2021

Anmelder: KYOCERA CORPORATION 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO2021065919
Aktenzeichen: EP20871517
Anmeldetag: 29. September 2020
Veröffentlichung: 8. April 2021
Rechtsraum: WO
IPC: H01L21/3065H01L21/31C23C8/10C23C14/06C23C14/08

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: KYOCERA CORPORATION
Land: 🇯🇵 Japan

🇯🇵 Kyocera

Japanischer Technologiekonzern mit Sitz in Kyoto. Kyocera fertigt Keramikbauteile, Halbleiterkomponenten, Solarmodule, Druck- und Kopiersysteme sowie Elektronikprodukte für Industrie und Endverbraucher.

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Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente Metallurgie & Oberflächentechnik

Vertreten von