Crystalline laminate structure and semiconductor device

WO2021066156 Art A1 8. April 2021

Anmelder: NATIONAL INSTITUTE FOR MATERIALS SCIENCE, FLOSFIA INC. 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO2021066156
Aktenzeichen: EP20871326
Anmeldetag: 2. Oktober 2020
Veröffentlichung: 8. April 2021
Rechtsraum: WO
IPC: C30B29/16C30B25/04H01L21/365H01L29/24

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firmen: NATIONAL INSTITUTE FOR MATERIALS SCIENCE
FLOSFIA INC.
Land: 🇯🇵 Japan

🇯🇵 National Institute for Materials Science

Japanisches staatliches Forschungsinstitut mit Sitz in Tsukuba, das auf Materialwissenschaft und Werkstoffforschung spezialisiert ist.

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Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente Metallurgie & Oberflächentechnik

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