High-selectivity dry release of dielectric structures

WO2021066643 Art A1 8. April 2021

Anmelder: TECHNISCHE UNIVERSITEIT DELFT 🇳🇱

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO2021066643
Aktenzeichen: EP20780372
Anmeldetag: 22. September 2020
Veröffentlichung: 8. April 2021
Rechtsraum: WO
IPC: G02B1/00B82Y20/00G02B5/08

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: TECHNISCHE UNIVERSITEIT DELFT
Land: 🇳🇱 Niederlande

🇳🇱 Technische Universiteit Delft

Niederländische Technische Universität in Delft mit breiter Forschung in Ingenieurwissenschaften und angewandter Technik.

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Fachgebiete

Optik & Fototechnik

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