Triiodosilylamine Precursor Compounds

WO2021067709 Art A1 8. April 2021

Anmelder: ENTEGRIS, INC. 🇺🇸

Details

Veröffentlichungs-Nr.
WO2021067709
Aktenzeichen
EP20870767
Anmeldetag
2. Oktober 2020
Veröffentlichung
8. April 2021
Rechtsraum
WO
IPC
C07F7/10C23C16/455C23C16/30C23C16/34C23C16/32C23C16/40
Offizieller Volltext

Abstract

Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.

Anmelder

Firma
ENTEGRIS, INC.
Land
🇺🇸 USA
🇺🇸 Entegris

US-amerikanischer Hersteller von Spezialmaterialien und Filtrationslösungen für die Halbleiterindustrie mit Sitz in Massachusetts.

1.106 Patente in unserer Datenbank

Fachgebiete

Metallurgie & Oberflächentechnik Organische Chemie

Vertreten von

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