Supply system for low volatility precursors

WO2021067764 Art A1 8. April 2021

Anmelder: L'AIR LIQUIDE, SOCIETE ANONYME POUR L'ETUDE ET L' EXPLOITATION DES PROCEDES GEORGES CLAUDE 🇫🇷

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO2021067764
Aktenzeichen: EP20793913
Anmeldetag: 2. Oktober 2020
Veröffentlichung: 8. April 2021
Rechtsraum: WO
IPC: C23C16/448C23C16/455

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: L'AIR LIQUIDE, SOCIETE ANONYME POUR L'ETUDE ET L' EXPLOITATION DES PROCEDES GEORGES CLAUDE
Land: 🇫🇷 Frankreich

🇫🇷 Air Liquide

Französischer Konzern für Industriegase und medizinische Gase, gegründet 1902 auf Basis des Luftverflüssigungsverfahrens von Georges Claude. Beliefert Industrie, Gesundheitswesen und Elektronikfertigung mit Gasen und Anlagentechnik.

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Fachgebiete

Metallurgie & Oberflächentechnik

Vertreten von