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WO2021069231 Art A1 15. April 2021

Anmelder: ASML NETHERLANDS B.V. 🇳🇱

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO2021069231
Aktenzeichen: EP20775325
Anmeldetag: 24. September 2020
Veröffentlichung: 15. April 2021
Rechtsraum: WO
IPC: G02B5/18G02B5/02G02B27/09

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: ASML NETHERLANDS B.V.
Land: 🇳🇱 Niederlande

🇳🇱 ASML

Niederländisches Unternehmen, das Lithografiesysteme und weitere Anlagen für die Halbleiterfertigung entwickelt und herstellt, zentral für die Chipindustrie.

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Fachgebiete

Optik & Fototechnik

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