Vacuum Pump Comprising an Axial Magnetic Bearing And A Radial Gas Foil Bearing

WO2021069874 Art A1 15. April 2021

Anmelder: EDWARDS LIMITED 🇬🇧

Details

Veröffentlichungs-Nr.
WO2021069874
Aktenzeichen
EP20789245
Anmeldetag
5. Oktober 2020
Veröffentlichung
15. April 2021
Rechtsraum
WO
IPC
F04D19/04F04D29/051F04D29/057
Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma
EDWARDS LIMITED
Land
🇬🇧 Großbritannien
🇬🇧 Edwards Limited

Britischer Hersteller von Vakuumpumpen und Abgasbehandlungssystemen mit Sitz in Burgess Hill, Teil des Atlas Copco Konzerns. Patente betreffen Vakuumtechnik für Halbleiter- und Industrieanwendungen.

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