Tool control using multistage lstm for predicting on-wafer measurements
WO2021069984
Art A1
15. April 2021
Anmelder: INTERNATIONAL BUSINESS MACHINES CORPORATION 🇺🇸
Details
- Veröffentlichungs-Nr.
- WO2021069984
- Aktenzeichen
- EP20874184
- Anmeldetag
- 9. September 2020
- Veröffentlichung
- 15. April 2021
- Rechtsraum
- WO
- IPC
- H01L21/66G05B13/04
Abstract
Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.
Anmelder
- Firma
- INTERNATIONAL BUSINESS MACHINES CORPORATION
- Land
- 🇺🇸 USA
🇺🇸
IBM
US-amerikanischer Technologiekonzern mit Sitz in Armonk, New York. International Business Machines entwickelt Hardware, Software, Cloud-Dienste sowie Lösungen für künstliche Intelligenz, Halbleiter und Unternehmens-IT.
12.049 Patente in unserer Datenbank
Vertreten von
Litherland, David Peter
Winchester, Großbritannien
1.145
Patente gesamt
22
Fachgebiete
5
Anmelder-Länder
Schwerpunkte