Electron Gun

WO2021070289 Art A1 15. April 2021

Anmelder: NIKON CORPORATION 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.
WO2021070289
Aktenzeichen
EP19948558
Anmeldetag
9. Oktober 2019
Veröffentlichung
15. April 2021
Rechtsraum
WO
IPC
H01J3/18C23C14/30H01J1/304H01J3/02
Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma
NIKON CORPORATION
Land
🇯🇵 Japan
🇯🇵 Nikon

Japanisches Technologieunternehmen mit Sitz in Tokio. Nikon entwickelt optische Geräte und Präzisionstechnik, darunter Kameras, Objektive, Mikroskope sowie Lithografie- und Messsysteme für die Halbleiterfertigung.

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