Photocurable composition for nanoimprinting

WO2021070491 Art A1 15. April 2021

Anmelder: TOHOKU UNIVERSITY, SAN-APRO LTD. 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO2021070491
Aktenzeichen: EP20875511
Anmeldetag: 25. August 2020
Veröffentlichung: 15. April 2021
Rechtsraum: WO
IPC: C08F290/00H01L21/027B29C59/02

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firmen: TOHOKU UNIVERSITY
SAN-APRO LTD.
Land: 🇯🇵 Japan

🇯🇵 Tohoku University

Staatliche Universität in Sendai, Japan, mit Forschungsschwerpunkten unter anderem in Materialwissenschaften und Werkstofftechnik.

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Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente Kunststoff- & Polymertechnik

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