Method for producing radiation-sensitive resin composition, pattern formation method, and method for producing electronic device

WO2021070590 Art A1 15. April 2021

Anmelder: FUJIFILM CORPORATION 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO2021070590
Aktenzeichen: EP20873654
Anmeldetag: 17. September 2020
Veröffentlichung: 15. April 2021
Rechtsraum: WO
IPC: G03F7/038G03F7/039G03F7/20G03F7/26

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: FUJIFILM CORPORATION
Land: 🇯🇵 Japan

🇯🇵 Fujifilm

Japanischer Konzern, hervorgegangen aus der Fotofilmherstellung, heute aktiv in Bildgebung, Dokumentenlösungen, Materialwissenschaften sowie Diagnostik und Arzneimittelherstellung.

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Fachgebiete

Optik & Fototechnik

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