Device for generating a plurality of charged particle beamlets, and an inspection imaging or processing apparatus and method for using the same.

WO2021071357 Art A1 15. April 2021

Anmelder: TECHNISCHE UNIVERSITEIT DELFT 🇳🇱

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO2021071357
Aktenzeichen: EP20792763
Anmeldetag: 8. Oktober 2020
Veröffentlichung: 15. April 2021
Rechtsraum: WO
IPC: H01J37/30H01J37/04

Offizieller Volltext

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Anmelder

Firma: TECHNISCHE UNIVERSITEIT DELFT
Land: 🇳🇱 Niederlande

🇳🇱 Technische Universiteit Delft

Niederländische Technische Universität in Delft mit breiter Forschung in Ingenieurwissenschaften und angewandter Technik.

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Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente

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