Statistical learning-based mode selection for multi-mode inspection

WO2021071996 Art A1 15. April 2021

Anmelder: KLA CORPORATION 🇺🇸

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO2021071996
Aktenzeichen: EP20875497
Anmeldetag: 8. Oktober 2020
Veröffentlichung: 15. April 2021
Rechtsraum: WO
IPC: G01N21/95G01N21/88H01L21/66G06N20/00

Offizieller Volltext

Abstract

Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.

Anmelder

Firma: KLA CORPORATION
Land: 🇺🇸 USA

🇺🇸 KLA Corporation

US-amerikanisches Unternehmen (frühere Firmierung KLA-Tencor), das Prozesskontroll- und Messsysteme für die Halbleiterfertigung entwickelt.

1.908 Patente in unserer Datenbank

Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik Software & Datenverarbeitung

Vertreten von

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