Pedestal heater for spatial multi-wafer processing tool

WO2021072199 Art A1 15. April 2021

Anmelder: APPLIED MATERIALS, INC. 🇺🇸

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO2021072199
Aktenzeichen: EP20874653
Anmeldetag: 9. Oktober 2020
Veröffentlichung: 15. April 2021
Rechtsraum: WO
IPC: H01L21/67H05B1/02H05B3/68H05B3/28H01L21/687H01L21/683

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: APPLIED MATERIALS, INC.
Land: 🇺🇸 USA

🇺🇸 Applied Materials

US-amerikanisches Technologieunternehmen mit Sitz in Santa Clara, Kalifornien. Applied Materials entwickelt Fertigungsanlagen und Prozesstechnologien für die Halbleiter-, Display- und Solarindustrie, unter anderem für Beschichtung, Ätzen und Materialabscheidung.

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Fachgebiete

Elektronik & Schaltungstechnik Halbleiter & Elektrische Bauelemente

Vertreten von