Wafer heater with backside and integrated bevel purge

WO2021072200 Art A1 15. April 2021

Anmelder: APPLIED MATERIALS, INC. 🇺🇸

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO2021072200
Aktenzeichen: EP20874064
Anmeldetag: 9. Oktober 2020
Veröffentlichung: 15. April 2021
Rechtsraum: WO
IPC: H01L21/687H01L21/67H01L21/683C23C16/455C23C16/458H05B3/20H05B3/00

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: APPLIED MATERIALS, INC.
Land: 🇺🇸 USA

🇺🇸 Applied Materials

US-amerikanisches Technologieunternehmen mit Sitz in Santa Clara, Kalifornien. Applied Materials entwickelt Fertigungsanlagen und Prozesstechnologien für die Halbleiter-, Display- und Solarindustrie, unter anderem für Beschichtung, Ätzen und Materialabscheidung.

10.783 Patente in unserer Datenbank

Fachgebiete

Elektronik & Schaltungstechnik Halbleiter & Elektrische Bauelemente Metallurgie & Oberflächentechnik

Vertreten von