Method for connecting an attachment to a main body of an optical element and optical element

WO2021074054 Art A1 22. April 2021

Anmelder: CARL ZEISS SMT GMBH 🇩🇪

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO2021074054
Aktenzeichen: EP20792946
Anmeldetag: 12. Oktober 2020
Veröffentlichung: 22. April 2021
Rechtsraum: WO
IPC: G02B5/08G02B7/00G02B26/08G03F7/20C03C27/00C04B37/00G02B5/10

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: CARL ZEISS SMT GMBH
Land: 🇩🇪 Deutschland

🇩🇪 Carl Zeiss SMT

Deutsches Unternehmen der Carl Zeiss Gruppe mit Sitz in Oberkochen, das optische Systeme und Lithographieoptiken für die Halbleiterindustrie entwickelt.

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Fachgebiete

Anorganische Chemie & Werkstoffe Optik & Fototechnik

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