System and method for vacuum ultraviolet lamp assisted ignition of oxygen-containing laser sustained plasma sources
WO2021076534
Art A1
22. April 2021
Anmelder: KLA CORPORATION 🇺🇸
Details
- Veröffentlichungs-Nr.
- WO2021076534
- Aktenzeichen
- EP20876692
- Anmeldetag
- 14. Oktober 2020
- Veröffentlichung
- 22. April 2021
- Rechtsraum
- WO
- IPC
- H01J61/30H01J61/02H01J61/16
Abstract
Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.
Anmelder
- Firma
- KLA CORPORATION
- Land
- 🇺🇸 USA
🇺🇸
KLA Corporation
US-amerikanisches Unternehmen (frühere Firmierung KLA-Tencor), das Prozesskontroll- und Messsysteme für die Halbleiterfertigung entwickelt.
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