Series of stacked confocal pulse stretchers for speckle reduction

WO2021076658 Art A1 22. April 2021

Anmelder: CYMER, LLC 🇺🇸

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO2021076658
Aktenzeichen: EP20803373
Anmeldetag: 14. Oktober 2020
Veröffentlichung: 22. April 2021
Rechtsraum: WO
IPC: H01S3/00G02B27/14G03F7/20H01S3/225H01S3/23

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: CYMER, LLC
Land: 🇺🇸 USA

🇺🇸 Cymer

Cymer ist ein US-amerikanisches Unternehmen für Lichtquellen zur Halbleiterlithografie, das zum ASML-Konzern gehört. Das Patentportfolio konzentriert sich sehr stark auf Halbleiter und elektrische Bauelemente sowie Optik und Fototechnik. Anmeldungen laufen kontinuierlich seit dem Jahr 2000.

399 Patente in unserer Datenbank

Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente Optik & Fototechnik

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