Apparatus for and method of sensing alignment marks

WO2021078474 Art A1 29. April 2021

Anmelder: ASML HOLDING N.V. 🇳🇱

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO2021078474
Aktenzeichen: EP20785475
Anmeldetag: 28. September 2020
Veröffentlichung: 29. April 2021
Rechtsraum: WO
IPC: G03F7/20G03F9/00G01B9/02G01J9/02

Offizieller Volltext

Abstract

Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.

Anmelder

Firma: ASML HOLDING N.V.
Land: 🇳🇱 Niederlande

🇳🇱 ASML

Niederländisches Unternehmen, das Lithografiesysteme und weitere Anlagen für die Halbleiterfertigung entwickelt und herstellt, zentral für die Chipindustrie.

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Fachgebiete

Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik Optik & Fototechnik

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