Systems and processes for production of trisilylamine

WO2021079164 Art A1 29. April 2021

Anmelder: LINDE GMBH, PENTAPRO MATERIALS INC. 🇩🇪

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO2021079164
Aktenzeichen: EP19835313
Anmeldetag: 22. Oktober 2019
Veröffentlichung: 29. April 2021
Rechtsraum: WO
IPC: C01B21/087C07F7/10C23C16/34H01L21/02B01J19/24

Offizieller Volltext

Abstract

Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.

Anmelder

Firmen: LINDE GMBH
PENTAPRO MATERIALS INC.
Land: 🇩🇪 Deutschland

🇩🇪 Linde

Deutscher Industriegasekonzern mit Wurzeln in München, gegründet 1879. Entwickelt und liefert technische Gase sowie Anlagen zur Gasverarbeitung für Industrie, Medizin und Energiewirtschaft.

3.677 Patente in unserer Datenbank

Fachgebiete

Anorganische Chemie & Werkstoffe Halbleiter & Elektrische Bauelemente Metallurgie & Oberflächentechnik Organische Chemie Verfahrens- & Trenntechnik

Vertreten von