Spring-loaded fastening system for process chamber liners

WO2021080702 Art A1 29. April 2021

Anmelder: APPLIED MATERIALS, INC. 🇺🇸

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO2021080702
Aktenzeichen: EP20880135
Anmeldetag: 10. September 2020
Veröffentlichung: 29. April 2021
Rechtsraum: WO
IPC: F16B2/06F16B5/06F16B39/24F16B43/00

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: APPLIED MATERIALS, INC.
Land: 🇺🇸 USA

🇺🇸 Applied Materials

US-amerikanisches Technologieunternehmen mit Sitz in Santa Clara, Kalifornien. Applied Materials entwickelt Fertigungsanlagen und Prozesstechnologien für die Halbleiter-, Display- und Solarindustrie, unter anderem für Beschichtung, Ätzen und Materialabscheidung.

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Fachgebiete

Maschinenelemente & Fluidtechnik

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