Heat and volatile-organic-compounds detecting systems

WO2021081000 Art A1 29. April 2021

Anmelder: LAM RESEARCH CORPORATION 🇺🇸

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO2021081000
Aktenzeichen: EP20878987
Anmeldetag: 20. Oktober 2020
Veröffentlichung: 29. April 2021
Rechtsraum: WO
IPC: G01J5/00G01J5/04G01N27/12G01N33/00G01N1/22

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: LAM RESEARCH CORPORATION
Land: 🇺🇸 USA

🇺🇸 Lam Research

US-amerikanischer Hersteller von Fertigungsanlagen für die Halbleiterindustrie mit Sitz in Fremont, Kalifornien, spezialisiert auf Ätz- und Beschichtungssysteme (Deposition) für die Chipproduktion.

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Fachgebiete

Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik

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