Methods for gaa i/o formation by selective epi regrowth

WO2021081155 Art A1 29. April 2021

Anmelder: APPLIED MATERIALS, INC. 🇺🇸

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO2021081155
Aktenzeichen: EP20878128
Anmeldetag: 22. Oktober 2020
Veröffentlichung: 29. April 2021
Rechtsraum: WO
IPC: H01L21/8234H01L29/66H01L29/423H01L27/088H01L29/786H01L29/78

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: APPLIED MATERIALS, INC.
Land: 🇺🇸 USA

🇺🇸 Applied Materials

US-amerikanisches Technologieunternehmen mit Sitz in Santa Clara, Kalifornien. Applied Materials entwickelt Fertigungsanlagen und Prozesstechnologien für die Halbleiter-, Display- und Solarindustrie, unter anderem für Beschichtung, Ätzen und Materialabscheidung.

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Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente

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