High average power extreme ultraviolet light source apparatus based on electron storage ring

WO2021083099 Art A1 6. Mai 2021

Anmelder: TSINGHUA UNIVERSITY 🇨🇳

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO2021083099
Aktenzeichen: EP20880626
Anmeldetag: 27. Oktober 2020
Veröffentlichung: 6. Mai 2021
Rechtsraum: WO
IPC: H05G2/00

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: TSINGHUA UNIVERSITY
Land: 🇨🇳 China

🇨🇳 Tsinghua University

Chinesische Universität mit Sitz in Peking, eine der führenden Forschungshochschulen des Landes. Aktiv in Ingenieurwissenschaften, Informatik, Materialwissenschaften und Naturwissenschaften sowie in zahlreichen technischen Anwendungsfeldern.

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Fachgebiete

Elektronik & Schaltungstechnik

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