Contact Area Size Determination Between 3D Structures in an Integrated Semiconductor Sample

WO2021083551 Art A1 6. Mai 2021

Anmelder: CARL ZEISS SMT GMBH 🇩🇪

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO2021083551
Aktenzeichen: EP20800004
Anmeldetag: 29. Oktober 2020
Veröffentlichung: 6. Mai 2021
Rechtsraum: WO
IPC: G06T7/00G06T7/30G06T7/62

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: CARL ZEISS SMT GMBH
Land: 🇩🇪 Deutschland

🇩🇪 Carl Zeiss SMT

Deutsches Unternehmen der Carl Zeiss Gruppe mit Sitz in Oberkochen, das optische Systeme und Lithographieoptiken für die Halbleiterindustrie entwickelt.

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Fachgebiete

Software & Datenverarbeitung

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