Charged particle beam device

WO2021085049 Art A1 6. Mai 2021

Anmelder: HITACHI HIGH-TECH CORPORATION 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO2021085049
Aktenzeichen: EP20881698
Anmeldetag: 6. Oktober 2020
Veröffentlichung: 6. Mai 2021
Rechtsraum: WO
IPC: H01J37/05H01J37/244H01J37/28H01L21/66

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: HITACHI HIGH-TECH CORPORATION
Land: 🇯🇵 Japan

🇯🇵 Hitachi High-Tech Corporation

Japanisches Unternehmen der Hitachi-Gruppe, spezialisiert auf Analysegeräte, medizinische Diagnostik und Fertigungsanlagen für die Halbleiterindustrie.

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Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente

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