Cryopump, cryopump system, and method for starting operation of cryopump

WO2021085184 Art A1 6. Mai 2021

Anmelder: SUMITOMO HEAVY INDUSTRIES, LTD. 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.
WO2021085184
Aktenzeichen
EP20881815
Anmeldetag
16. Oktober 2020
Veröffentlichung
6. Mai 2021
Rechtsraum
WO
IPC
F04B37/08B01D53/04F04B37/16
Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma
SUMITOMO HEAVY INDUSTRIES, LTD.
Land
🇯🇵 Japan
🇯🇵 Sumitomo Heavy Industries

Japanischer Industriekonzern mit Sitz in Tokio. Sumitomo Heavy Industries fertigt Maschinenbauprodukte, Baumaschinen, Getriebe sowie Anlagen für Umwelttechnik und Schiffbau.

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