Method of manufacture of a capillary for a hollow-core photonic crystal fiber

WO2021089360 Art A1 14. Mai 2021

Anmelder: ASML NETHERLANDS B.V. 🇳🇱

Details

Veröffentlichungs-Nr.
WO2021089360
Aktenzeichen
EP20793402
Anmeldetag
27. Oktober 2020
Veröffentlichung
14. Mai 2021
Rechtsraum
WO
IPC
C03B37/012C03B37/027C03C15/00C03C25/68G02B5/00
Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma
ASML NETHERLANDS B.V.
Land
🇳🇱 Niederlande
🇳🇱 ASML

Niederländisches Unternehmen, das Lithografiesysteme und weitere Anlagen für die Halbleiterfertigung entwickelt und herstellt, zentral für die Chipindustrie.

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