Charged-particle detector package for high speed applications

WO2021089443 Art A1 14. Mai 2021

Anmelder: ASML NETHERLANDS B.V. 🇳🇱

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO2021089443
Aktenzeichen: EP20800627
Anmeldetag: 30. Oktober 2020
Veröffentlichung: 14. Mai 2021
Rechtsraum: WO
IPC: H01L23/04G01T1/24H01L31/115

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: ASML NETHERLANDS B.V.
Land: 🇳🇱 Niederlande

🇳🇱 ASML

Niederländisches Unternehmen, das Lithografiesysteme und weitere Anlagen für die Halbleiterfertigung entwickelt und herstellt, zentral für die Chipindustrie.

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Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik

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