Charged particle detection for spectroscopic techniques

WO2021090029 Art A1 14. Mai 2021

Anmelder: VG SYSTEMS LIMITED, FEI COMPANY 🇬🇧

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO2021090029
Aktenzeichen: EP20811705
Anmeldetag: 9. November 2020
Veröffentlichung: 14. Mai 2021
Rechtsraum: WO
IPC: G01T1/29H01J37/244H01J49/02

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firmen: VG SYSTEMS LIMITED
FEI COMPANY
Land: 🇬🇧 Großbritannien

🇺🇸 FEI Company

US-amerikanischer Hersteller von Elektronenmikroskopen und wissenschaftlichen Bildgebungssystemen, seit 2016 Teil von Thermo Fisher Scientific. Patente betreffen Elektronen- und Ionenmikroskopie sowie Materialanalyse.

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Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik

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