Method for calibrating coordinate position identification precision of laser surface inspection device, and semiconductor wafer evaluation method

WO2021090624 Art A1 14. Mai 2021

Anmelder: SUMCO CORPORATION 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO2021090624
Aktenzeichen: EP20885954
Anmeldetag: 6. Oktober 2020
Veröffentlichung: 14. Mai 2021
Rechtsraum: WO
IPC: H01L21/66G01B11/30G01N21/93G01N21/956G02B21/00G02B21/06

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: SUMCO CORPORATION
Land: 🇯🇵 Japan

🇯🇵 Sumco

Sumco ist ein japanischer Hersteller von Siliziumwafern für die Halbleiterindustrie. Das Patentportfolio konzentriert sich entsprechend auf Halbleiter und elektrische Bauelemente sowie Metallurgie- und Fertigungstechnik. Anmeldungen sind von 2000 bis in die Gegenwart belegt.

658 Patente in unserer Datenbank

Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik Optik & Fototechnik

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