Controlling A Spectral Property Of an Output Light Beam Produced By an Optical Source

WO2021091675 Art A1 14. Mai 2021

Anmelder: CYMER, LLC 🇺🇸

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO2021091675
Aktenzeichen: EP20804103
Anmeldetag: 16. Oktober 2020
Veröffentlichung: 14. Mai 2021
Rechtsraum: WO
IPC: H01S3/08H01S3/1055H01S3/225H01S3/23G03F7/20G21K1/06H01S3/036H01S3/104H01S3/137H01S3/139H01S3/00H01S3/10

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: CYMER, LLC
Land: 🇺🇸 USA

🇺🇸 Cymer

Cymer ist ein US-amerikanisches Unternehmen für Lichtquellen zur Halbleiterlithografie, das zum ASML-Konzern gehört. Das Patentportfolio konzentriert sich sehr stark auf Halbleiter und elektrische Bauelemente sowie Optik und Fototechnik. Anmeldungen laufen kontinuierlich seit dem Jahr 2000.

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Fachgebiete

Elektrische Energietechnik Halbleiter & Elektrische Bauelemente Optik & Fototechnik

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