A radiation system for controlling bursts of pulses of radiation

WO2021091730 Art A1 14. Mai 2021

Anmelder: CYMER, LLC 🇺🇸

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO2021091730
Aktenzeichen: EP20811800
Anmeldetag: 27. Oktober 2020
Veröffentlichung: 14. Mai 2021
Rechtsraum: WO
IPC: G03F7/20H01S3/00H01S3/10H01S3/08

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: CYMER, LLC
Land: 🇺🇸 USA

🇺🇸 Cymer

Cymer ist ein US-amerikanisches Unternehmen für Lichtquellen zur Halbleiterlithografie, das zum ASML-Konzern gehört. Das Patentportfolio konzentriert sich sehr stark auf Halbleiter und elektrische Bauelemente sowie Optik und Fototechnik. Anmeldungen laufen kontinuierlich seit dem Jahr 2000.

399 Patente in unserer Datenbank

Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente Optik & Fototechnik

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