Device for measuring a substrate and method for correcting cyclic error components of an interferometer

WO2021094340 Art A1 20. Mai 2021

Anmelder: CARL ZEISS SMT GMBH 🇩🇪

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO2021094340
Aktenzeichen: EP20806960
Anmeldetag: 11. November 2020
Veröffentlichung: 20. Mai 2021
Rechtsraum: WO
IPC: G01B9/02G03F7/20

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: CARL ZEISS SMT GMBH
Land: 🇩🇪 Deutschland

🇩🇪 Carl Zeiss SMT

Deutsches Unternehmen der Carl Zeiss Gruppe mit Sitz in Oberkochen, das optische Systeme und Lithographieoptiken für die Halbleiterindustrie entwickelt.

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Fachgebiete

Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik Optik & Fototechnik

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