Tiltable and rotatable substrate carrier and multi-layer vacuum deposition system comprising same

WO2021094665 Art A1 20. Mai 2021

Anmelder: SAFRAN ELECTRONICS&DEFENSE 🇫🇷

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO2021094665
Aktenzeichen: EP20807834
Anmeldetag: 27. Oktober 2020
Veröffentlichung: 20. Mai 2021
Rechtsraum: WO
IPC: H01L21/67H01L21/48H01L21/68

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: SAFRAN ELECTRONICS&DEFENSE
Land: 🇫🇷 Frankreich

🇫🇷 Safran Electronics & Defense

Safran Electronics & Defense ist eine französische Tochtergesellschaft des Safran-Konzerns für Avionik, Optronik und Verteidigungselektronik mit entsprechenden Patenten.

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Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente

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