Inert Gas Recovery From A Semiconductor Manufacturing Tool

WO2021094709 Art A1 20. Mai 2021

Anmelder: EDWARDS LIMITED 🇬🇧

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO2021094709
Aktenzeichen: EP20801388
Anmeldetag: 2. November 2020
Veröffentlichung: 20. Mai 2021
Rechtsraum: WO
IPC: B01D53/047B01D53/14B01D53/26C01B23/00

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: EDWARDS LIMITED
Land: 🇬🇧 Großbritannien

🇬🇧 Edwards Limited

Britischer Hersteller von Vakuumpumpen und Abgasbehandlungssystemen mit Sitz in Burgess Hill, Teil des Atlas Copco Konzerns. Patente betreffen Vakuumtechnik für Halbleiter- und Industrieanwendungen.

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Fachgebiete

Anorganische Chemie & Werkstoffe Verfahrens- & Trenntechnik

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