Optimization using a non-uniform illumination intensity profile

WO2021099408 Art A1 27. Mai 2021

Anmelder: ASML HOLDING N.V., ASML NETHERLANDS B.V. 🇳🇱

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO2021099408
Aktenzeichen: EP20810918
Anmeldetag: 18. November 2020
Veröffentlichung: 27. Mai 2021
Rechtsraum: WO
IPC: G03F1/36G03F1/70G03F7/20

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firmen: ASML HOLDING N.V.
ASML NETHERLANDS B.V.
Land: 🇳🇱 Niederlande

🇳🇱 ASML

Niederländisches Unternehmen, das Lithografiesysteme und weitere Anlagen für die Halbleiterfertigung entwickelt und herstellt, zentral für die Chipindustrie.

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Fachgebiete

Optik & Fototechnik

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