Lamella fabrication method, analysis system, and sample analysis method

WO2021100144 Art A1 27. Mai 2021

Anmelder: HITACHI HIGH-TECH CORPORATION 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO2021100144
Aktenzeichen: EP19953382
Anmeldetag: 20. November 2019
Veröffentlichung: 27. Mai 2021
Rechtsraum: WO
IPC: G01N1/28H01J37/20

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: HITACHI HIGH-TECH CORPORATION
Land: 🇯🇵 Japan

🇯🇵 Hitachi High-Tech Corporation

Japanisches Unternehmen der Hitachi-Gruppe, spezialisiert auf Analysegeräte, medizinische Diagnostik und Fertigungsanlagen für die Halbleiterindustrie.

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Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik

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