Charged particle ray system, and method to be implemented by control system of charged particle ray apparatus

WO2021100205 Art A1 27. Mai 2021

Anmelder: HITACHI HIGH-TECH CORPORATION 🇯🇵

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO2021100205
Aktenzeichen: EP19953311
Anmeldetag: 22. November 2019
Veröffentlichung: 27. Mai 2021
Rechtsraum: WO
IPC: H01J37/21H01J37/22

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: HITACHI HIGH-TECH CORPORATION
Land: 🇯🇵 Japan

🇯🇵 Hitachi High-Tech Corporation

Japanisches Unternehmen der Hitachi-Gruppe, spezialisiert auf Analysegeräte, medizinische Diagnostik und Fertigungsanlagen für die Halbleiterindustrie.

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Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente

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