Finding semiconductor defects using convolutional context attributes

WO2021101851 Art A1 27. Mai 2021

Anmelder: KLA CORPORATION 🇺🇸

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO2021101851
Aktenzeichen: EP20889330
Anmeldetag: 16. November 2020
Veröffentlichung: 27. Mai 2021
Rechtsraum: WO
IPC: G06T7/00G06T7/11G06T11/00G06K9/62G01N21/88G06N20/00H01L21/66

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: KLA CORPORATION
Land: 🇺🇸 USA

🇺🇸 KLA Corporation

US-amerikanisches Unternehmen (frühere Firmierung KLA-Tencor), das Prozesskontroll- und Messsysteme für die Halbleiterfertigung entwickelt.

1.908 Patente in unserer Datenbank

Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik Software & Datenverarbeitung

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