Clustering sub-care areas based on noise characteristics

WO2021101852 Art A1 27. Mai 2021

Anmelder: KLA CORPORATION 🇺🇸

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO2021101852
Aktenzeichen: EP20889092
Anmeldetag: 17. November 2020
Veröffentlichung: 27. Mai 2021
Rechtsraum: WO
IPC: H01L21/66G06K9/32G06K9/62G06T7/11H01L21/67

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: KLA CORPORATION
Land: 🇺🇸 USA

🇺🇸 KLA Corporation

US-amerikanisches Unternehmen (frühere Firmierung KLA-Tencor), das Prozesskontroll- und Messsysteme für die Halbleiterfertigung entwickelt.

1.908 Patente in unserer Datenbank

Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente Software & Datenverarbeitung

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