System and method for protecting optics from vacuum ultraviolet light
WO2021101914
Art A1
27. Mai 2021
Anmelder: KLA CORPORATION 🇺🇸
Details
- Veröffentlichungs-Nr.
- WO2021101914
- Aktenzeichen
- EP20891381
- Anmeldetag
- 18. November 2020
- Veröffentlichung
- 27. Mai 2021
- Rechtsraum
- WO
- IPC
- G02B27/00G02B7/02G02B7/182G02B1/10G02B1/02
Abstract
Für dieses Patent liegt uns kein Abstract vor.
Anmelder
- Firma
- KLA CORPORATION
- Land
- 🇺🇸 USA
🇺🇸
KLA Corporation
US-amerikanisches Unternehmen (frühere Firmierung KLA-Tencor), das Prozesskontroll- und Messsysteme für die Halbleiterfertigung entwickelt.
1.908 Patente in unserer Datenbank
Fachgebiete
Vertreten von
Kein Vertreter erfasst.