Detection and location of anomalous plasma events in fabrication chambers

WO2021101993 Art A1 27. Mai 2021

Anmelder: LAM RESEARCH CORPORATION 🇺🇸

Details

Veröffentlichungs-Nr.: WO2021101993
Aktenzeichen: EP20889744
Anmeldetag: 18. November 2020
Veröffentlichung: 27. Mai 2021
Rechtsraum: WO
IPC: G01J1/42G01J1/04H01J37/32H01L21/66H01L21/02

Offizieller Volltext

Abstract

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Anmelder

Firma: LAM RESEARCH CORPORATION
Land: 🇺🇸 USA

🇺🇸 Lam Research

US-amerikanischer Hersteller von Fertigungsanlagen für die Halbleiterindustrie mit Sitz in Fremont, Kalifornien, spezialisiert auf Ätz- und Beschichtungssysteme (Deposition) für die Chipproduktion.

2.725 Patente in unserer Datenbank

Fachgebiete

Halbleiter & Elektrische Bauelemente Mess-, Prüf- & Zeitmesstechnik

Vertreten von